InnoLas Semiconductor社製品

◆InnoLas Semiconductor社製ウェハーマーキング装置の特徴
1995年1月にドイツのミュンヘンで、レーザー製品・装置のサービス提供会社として設立されたInnoLas Semiconductor(イノラスセミコンダクター)社は、同時に、お客様の要望を反映したウェハーマーキング装置を開発して来ました。
その結果、現在までに数多くの実績を重ねて来ました。
装置の特徴
2インチサイズのウェハーから450mmウェハーまで対応しています。
IRからUVまでのレーザーソース搭載が可能なので、あらゆる材質のウェハーに対応出来ます。
多彩なオプションから必要な機能を選択出来ます。

製品のご紹介

当社が取り扱っているInnoLas Semiconductor社製品の一部をご紹介します。

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簡易コンパクトモデル “IL 1000M”

● 少量生産のラインやR&Dラボ向けに設計された省スペースのコンパクトな
  装置です。

 

● 完全なマニュアルハンドリングの採用により、他のモデル同様の高マー
  キング品質を提供しながら低コストを実現しています。

簡易コンパクトモデル “IL 1000M”

1カセット・オート搬送モデル “IL 1000”

● 1ロード/アンロードステーションのフルオートマチック、ウェハーマー
  キング装置です。

 

● 装置内部や外部からの振動の影響を受けないように、光学部品の取り付
  けベースに大型の天然素材防振台を採用しています。

 

● 既存装置のバックアップ機として、また中規模生産量のライン向け装置
  として設計されています。

1カセット・オート搬送モデル “IL 1000”

~8インチ量産対応モデル “IL 2000”

● 大量で高スループットが必要な生産ライン向けに設計された、8インチウ
  ェハーまで対応の装置です。

 

● 4個のロード / アンロードステーションを持ち、200枚 / 時の高スループ
  ットを達成しています。

 

● ウェハーソーターとしても使用可能(オプション)です。

~8インチ量産対応モデル “IL 2000”

300mmハードマーク用モデル “IL 3000”

● 300㎜ウェハーハードマーク用の装置です。

 

● オープンカセット用の4個のロード / アンロードステーションが有りま
  す。

 

● ウェハーソーターとしても使用可能(オプション)です。

300mmハードマーク用モデル “IL 3000”

300mmソフトマーク用モデル “IL C3000”

● FOUPカセットローダー搭載の300㎜ウェハーソフトマーク用装置です。

 

● デブリスフリーのソフトマークが可能です。

 

● Clean Class 4(ISO EN 14644-1)のミニエンバイロンメントでプロセス
  中のウェハー表面のクリーン度を保ちます。

● PGV, AGV及びOHT対応のフルオートメーションシステムです。

300mmソフトマーク用モデル “IL C3000”

300㎜・450㎜兼用ウェハーマーカー “IL C4000”

● 300㎜、450㎜ウェハー兼用のウェハーマーカーです。300㎜から450㎜
  ウェハープロセスへの橋渡し的な装置です。

 

● 300㎜ウェハー専用もしくは450㎜ウェハー専用マーカーに簡単に変更可
  能です。

 

● ノッチレスウェハーへのマーキングも可能(オプション)です。

300㎜・450㎜兼用ウェハーマーカー “IL C4000”

2~8インチ対応ウェハーソーター “IL 2600”

● 2インチから8インチウェハーまで対応のウェハーソーターです。

 

● ウェハーID、ウェハー重量及びウェハー厚み(オプション)でのソーテ
  ィングが可能です。

 

● 6個のInput / Outputカセットステーションを持ち、高スループットを実
  現しています。

 

● お客様の様々なご要望に応えるため、多くのオプションを準備し、各お
  客様用にシステムをカスタマイズ可能です。

2~8インチ対応ウェハーソーター “IL 2600”

300mm用ウェハーソーター “ILC 3X00”

● Clean Class 4(ISO EN 14644-1)のミニエンバイロンメント環境下で
  300㎜ウェハーのソーティングやインスペクションを行う装置です。

 

● お客様のご要望により、1機から7機までのロードポートを搭載可能で
  す。

 

● PGV, AGV及びOHT対応のフルオートメーションシステムです。

300mm用ウェハーソーター “ILC 3X00”

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